Сензор за температура и влажност за полупроводничка шема за контрола на влажноста на температурата во просторијата

Прикажи производ

Температуратаивлажноста на чистиот простор главно се одредува според барањата на процесот, но под услов да се задоволат барањата на процесот, треба да се земе предвид чувството на удобност.Со подобрувањето на барањата за чистота на воздухот, се забележува тренд на сè построги барања за температура и влажност.
Бидејќи прецизноста на обработката е сè пофина, така што опсегот на флуктуации на температурата е сè помал.На пример, во процесот на литографска изложеност на големо производство на интегрални кола, разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу стаклото и силиконската обланда како материјал за маска се бара да биде помала и помала.Дијаметар 100 um силиконски нафора, пораст на температурата 1 степен, ќе предизвика 0,24 м линеарно проширување, така што мора да има температура од ± 0,1 степен, во исто време вредноста на влажноста е генерално ниска, бидејќи луѓето се потат, производот ќе има загадување, особено се плаши од работилница за натриум полупроводници, оваа работилница не треба да надминува 25 степени.
Високата влажност предизвикува повеќе проблеми.Кога релативната влажност ќе надмине 55%, на ѕидот на цевката за вода за ладење ќе се формира роса, што ќе предизвика разни несреќи ако се случи во прецизни уреди или кола.Кога релативната влажност е 50%, лесно се рѓосува.Дополнително, кога влажноста е превисока, прашината заглавена на површината на силиконскиот чип хемиски ќе се адсорбира на површината за да се спротивстави на отстранувањето.Колку е поголема релативната влажност, адхезијата е тешко да се отстрани, но кога релативната влажност е помала од 30%, честичките лесно се апсорбираат на површината поради дејството на електростатската сила, а голем број на полупроводнички уреди се склони кон дефект.Оптималниот температурен опсег за производство на нафора е 35-45%.

Затоа, контролата на температурата и влажноста е особено важна, HENGKO може да ви обезбеди серија наприлагодени решенија за обработка на предавателот на температура и влажност!

Сензор за температура и влажност за полупроводничка шема за контрола на влажноста на температурата во просторијата

Не можете да најдете производ што ги задоволува вашите потреби?Контактирајте го нашиот продажен персонал заУслуги за прилагодување на OEM/ODM!