Филтри за полупроводнички гасови:
Обезбедување беспрекорна чистота на гас во производството на чипови
Во сложениот свет на производството на полупроводници, каде прецизноста и чистотата се најважни, квалитетот на
употребените гасови играат клучна улога во одредувањето на успехот на процесот. Нечистотии, дури и на бесконечно мали нивоа,
може да направи хаос на деликатните кола на микрочиповите, правејќи ги неисправни и неупотребливи. Да се заштити
овој критичен процес, полупроводничките филтри за гас стојат како непопустливи чувари, прецизно отстранувајќи ги загадувачите
и обезбедување на беспрекорен квалитет на гасовите што течат низ производните линии.
Има многу одлични карактеристики и придобивки од синтеруваните метални филтри
1. Изработен во најсовремена средина за чистота
Овие филтри се раѓаат во најсовремена чиста соба, средина во која прецизно се одржуваат беспрекорни услови за да се минимизира секоја потенцијална контаминација. Тие се подложени на ригорозен процес на производство, почнувајќи со прецизно заварување под атмосфера на прочистен воздух. Последователното испирање со дејонизирана вода, проследено со филтриран азот со висок притисок, ги елиминира сите бавни честички и го намалува ризикот од осипување на честичките.
2. Исклучителна ефикасност на отстранување на честички
Со извонредна ефикасност на филтрација од 9 LRV за честички од 0,003 μm, придржувајќи се до строгите стандарди поставени со методите за тестирање SEMI F38 и ISO 12500, овие филтри ефикасно ги отстрануваат сите честички генерирани од корозија и честички генерирани од подвижните делови, обезбедувајќи ја чистата чистота. гасови.
3. Супериорна механичка цврстина
Ригорозно тестирани за да гарантираат исклучителна еластичност во тешките производствени процеси и средини кои често користат високи притисоци на гас, овие филтри обезбедуваат непоколебливи перформанси во текот на нивниот животен век.
4. Надминување на највисоките индустриски стандарди
Надминувајќи ги строгите барања за филтрирање за ракување со гас за обработка на полупроводници, овие филтри се подложени на ригорозни тестирања за да се гарантира дека ја исполнуваат критичната ефикасност на филтрацијата, прецизната контрола на протокот и безбедносните стандарди што ги бараат системите за испорака на гас во производството на полупроводници.
5. Непоколеблива посветеност на безбедноста
За да се заштитат од изложување на запаливи, корозивни, токсични и пирофорни процесни гасови, куќиштата на филтерот се подложени на прецизно тестирање за истекување, осигурувајќи дека постигнуваат извонредна стапка на истекување помала од 1x10-9 atm scc/секунда. Оваа непоколеблива посветеност на безбедноста гарантира дека опасните гасови се содржани и спречени да предизвикаат штета.
6. Бескомпромисна чистота за извонредност во производството на чипови
Преку нивните исклучителни способности за филтрирање, непоколебливата посветеност на безбедноста и придржувањето кон највисоките индустриски стандарди, овие филтри за гас играат клучна улога во заштитата на сложениот процес на производство на полупроводници. Тие стојат како чувари на чистотата, обезбедувајќи само најчистите гасови да течат низ производните линии, отворајќи го патот за создавање на микрочипови со високи перформанси кои го напојуваат нашиот модерен свет.
Видови полупроводнички филтри
Полупроводничките филтри се користат во различни апликации, вклучувајќи:
* Производство на електроника:
Полупроводничките филтри се користат за отстранување на честички од ултрачиста вода, гасови и хемикалии кои се користат во производството на полупроводници.
* Хемиска механичка планаризација (CMP):
Полупроводничките филтри се користат за отстранување на честички од кашеста маса на CMP, кои се користат за полирање на полупроводнички наполитанки.
* Биомедицински:
Полупроводничките филтри се користат за отстранување на честички од течности што се користат во медицинската дијагностика и третмани.
* Еколошки:
Полупроводничките филтри се користат за отстранување на честички од воздухот и водата.
Постојат четири главни типа на полупроводнички филтри:
1. Мембрански филтри:
Мембранските филтри се направени од тенок, порозна фолија која дозволува течностите да минуваат низ додека ги заробуваат честичките.
2. Филтри за длабочина:
Длабочините филтри се направени од густо, извитоперено корито од материјал што ги заробува честичките додека течат низ филтерот.
3. Адсорбентни филтри:
Адсорбентните филтри се направени од материјал кој привлекува и држи честички.
4. Синтерувани метални филтри
Синтеруваните метални филтри се вид на длабински филтер кој најчесто се користи во производството на полупроводници. Тие се направени со синтерување на фин метален прав во порозна структура. Филтрите со синтерувани метали се познати по нивната висока издржливост, висока ефикасност на филтрирање и способност да издржат високи температури и притисоци.
Предности на синтерувани метални филтри за производство на полупроводници:
* Висока издржливост:
* Висока ефикасност на филтрација:
* Долг животен век:
* Хемиска компатибилност:
Примени на синтерувани метални филтри во производството на полупроводници:
* Прочистување на гасот:
Филтрите со синтерувани метали се суштински дел од процесот на производство на полупроводници, помагајќи да се обезбеди производство на висококвалитетни полупроводнички уреди.
Типот на полупроводнички филтер што се користи во одредена апликација зависи од големината на честичките што се отстрануваат, видот на течноста што се филтрира и саканото ниво на филтрација.
Еве табела што ги сумира различните типови на полупроводнички филтри:
Тип на филтер | Опис | Апликации | Слика |
---|---|---|---|
Мембрански филтри | Направен од тенок, порозна фолија која дозволува течности да минуваат додека ги заробуваат честичките. | Производство на електроника, CMP, биомедицински, еколошки | |
Филтри за длабочина | Направен од дебел, извиток слој од материјал кој ги заробува честичките додека течат низ филтерот. | CMP, биомедицински, еколошки | |
Адсорбентни филтри | Направено од материјал кој привлекува и држи честички. | Производство на електроника, CMP, биомедицински, еколошки | |
Синтерувани метални филтри | Направено со синтерување на фин метален прав во порозна структура. | Прочистување на гас, хемиска филтрација, филтрација на ултрачиста вода, филтрација со кашеста маса CMP | Синтерувани метални филтри за полупроводници |
Апликација
Полупроводничките филтри за гас од синтеруван метал се широко користени во различни апликации во индустријата за полупроводници. Нивните уникатни својства, како што се високата ефикасност на филтрација, издржливоста и способноста да се издржат високи температури и притисоци, ги прават суштинска компонента на системите за испорака на гас во производството на полупроводници.
Еве некои од специфичните апликации на филтрите за гас со синтеруван полупроводник:
1. Производство на нафора:
Филтрите со синтерувани метали се користат за прочистување на гасовите што се користат во производството на обланди, како што се азот, водород и кислород. Овие гасови се од суштинско значење за процеси како што се епитаксијален раст, офорт и допинг.
2. Хемиска филтрација:
Филтрите со синтерувани метали се користат за филтрирање на хемикалии што се користат во производството на полупроводници, како што се киселини, бази и растворувачи. Овие хемикалии се користат за различни цели, вклучувајќи чистење, офорт и полирање.
3. Филтрација на ултрачиста вода:
Синтерирани метални филтри се користат за филтрирање на ултрачиста вода (UPW) што се користи во производството на полупроводници. UPW е од суштинско значење за чистење и плакнење на наполитанки, како и за подготовка на хемикалии.
4. Филтрација со кашеста маса на CMP:
Синтерирани метални филтри се користат за филтрирање на CMP кашеста маса, кои се користат за полирање на полупроводнички наполитанки. CMP е критичен процес во производството на микрочипови.
5. Филтрација во точка на употреба (POU):
Синтерирани метални филтри често се користат како POU филтри, кои се инсталираат директно на местото на употреба за да обезбедат највисоко ниво на филтрација. POU филтрите се особено важни за апликации каде што чистотата на гасот е критична, како на пример во производството на микропроцесори и други уреди со високи перформанси.
6. Ракување со гас со висока чистота:
Синтерирани метални филтри се користат во системи за ракување со гас со висока чистота за отстранување на загадувачите од гасовите што се користат во производството на полупроводници. Овие загадувачи може да вклучуваат честички, влага и органски соединенија.
7. Производство на микроелектроника:
Синтерирани метални филтри се користат во производството на микроелектроника, како што се компјутери, таблети, мобилни телефони, IoT сензори и контролни уреди.
8. Филтрација на микро-електромеханички системи (MEMS):
Синтерирани метални филтри се користат во MEMS филтрацијата, што е процес на отстранување на загадувачите од микро-електромеханичките системи. MEMS се користат во различни апликации, вклучувајќи сензори, актуатори и трансдуктори.
9. Филтрација на уред за складирање податоци:
Синтерирани метални филтри се користат во филтрација на уреди за складирање податоци, што е процес на отстранување на загадувачите од уредите за складирање податоци, како што се хард дискови и дискови со цврста состојба.
Во прилог на овие специфични апликации, синтерувани метални полупроводнички филтри за гас се користат и во различни други апликации во индустријата за полупроводници. Нивната разновидност и доверливост ги прават суштинска алатка за производителите на полупроводници.
Барате филтри за гас со полупроводнички синтеруван метал со врвен квалитет?
HENGKO е вашиот партнер за OEM решенија во системи за производство на полупроводници.
Нашите прецизно дизајнирани филтри обезбедуваат сигурност и ефикасност во вашите процеси, нудејќи ви предност на конкурентен пазар.
Зошто да ги изберете филтрите на HENGKO?
* Врвен квалитет и издржливост
* Прилагодени решенија за да одговараат на вашите специфични потреби
* Подобрени перформанси за производство на полупроводници
Не дозволувајте предизвиците за филтрирање да го запрат вашето производство.
Обратете се кај нас денес за да истражиме како нашите филтри од синтеруван метал можат да го револуционизираат вашиот производствен систем.
Контактирајте не наka@hengko.com
Партнерирајте со HENGKO и направете чекор кон извонредност во производството на полупроводници!