филтри за полупроводнички гасови

Зошто треба да се користат филтри за гас во процесот на производство на полупроводници? 

Филтрите за гас се неопходни во процесот на производство на полупроводници поради неколку критични причини:

1. Отстранување на загадувачи

Производството на полупроводници вклучува бројни чувствителни процеси каде што дури и најситните загадувачи,

како што се честичките прашина, влагата или хемиските остатоци, може да имаат штетни ефекти. Филтрите за гас се отстрануваат

честички, нечистотии и загадувачи во воздухот од процесните гасови, обезбедувајќи чиста животна средина

и одржување на интегритетот на полупроводничките наполитанки.

2. Одржување на стандарди за ултра чистота

Индустријата за полупроводници бара екстремно високи нивоа на чистота во употребените гасови, како што можат нечистотиите

доведува до дефекти на полупроводнички уреди. Филтрите за гас помагаат да се постигне квалитет на ултра чист гас, спречувајќи

контаминација и обезбедување на конзистентност и сигурност на производите.

3. Заштитна опрема

Загадувачите во гасовите не само што можат да им наштетат на полупроводничките наполитанки туку и да ги оштетат чувствителните

опрема што се користи во производствениот процес, како што се реактори за таложење на хемиска пареа (CVD) и

системи за офорт. Филтрите за гас ги штитат овие скапи машини од оштетување, намалувајќи го ризикот од

прекини и скапи поправки.

4. Спречување на губење на приносот

Приносот е од клучно значење во производството на полупроводници, каде што дефектите можат да предизвикаат значителна загуба во производството.

Дури и една честичка или хемиска нечистотија може да резултира со губење на приносот, што ќе влијае на продуктивноста и профитабилноста.

Филтрите за гас гарантираат дека гасовите од процесот се чисти, минимизирајќи ја контаминацијата и намалувајќи ја загубата на принос.

5. Обезбедување квалитет на производот

Конзистентноста и квалитетот се најважни во производството на полупроводници. Загадените гасови можат да создадат

недоследности, што доведува до несигурни полупроводнички уреди. Со користење на филтри за гас, производителите можат

гаранција дека секоја серија ги исполнува строгите стандарди за квалитет што се бараат, што доведува до повисок уред

перформанси и долговечност.

6. Намалување на времето на застој

Загадувачите во процесните гасови може да предизвикаат дефект на опремата, што бара одржување или замена.

Со користење на филтри за гас, производителите можат да го намалат неочекуваното застој, да ја одржат оперативната ефикасност и

го продолжи животниот век на критичната опрема.

7. Хемиска компатибилност

Многу од гасовите што се користат во процесите на полупроводници се многу реактивни или корозивни. Филтри за гас се

дизајниран да ги издржи овие сурови хемиски средини додека ефикасно ги филтрира нечистотиите, обезбедувајќи

безбедна и ефикасна обработка.

Генерално, филтрите за гас се од витално значење за одржување на чистотата, сигурноста и безбедноста на полупроводникот

процес на производство, помагајќи да се постигнат висококвалитетни полупроводнички производи без дефекти додека

исто така заштитува вредна опрема.

Видови филтри за гас во процесот на производство на полупроводници

Во процесот на производство на полупроводници, различни видови филтри за гас се користат за решавање на различни

фази и предизвици поврзани со чистотата на гасот и заштитата на опремата.

Типовите на филтри за гас кои најчесто се користат вклучуваат:

1. Филтри за честички

*Целта: За отстранување на честички, прашина и други цврсти загадувачи од процесните гасови.

*Употреба: Често се инсталира во различни фази за заштита на наполитанки, комори за процесирање и опрема од контаминација со честички.

*Материјали: Обично направени од синтеруван нерѓосувачки челик, тефлонски или други материјали кои обезбедуваат издржливост и хемиска компатибилност.

2. Молекуларни или хемиски филтри (Getter филтри)

*Целта: За отстранување на специфични молекуларни загадувачи, како што се влага, кислород или органски соединенија, кои може да се присутни во процесните гасови.

*Употреба: Се користи кога е потребен гас со висока чистота, како на пример при таложење или процеси на офорт.

*Материјали: Често конструирани со употреба на активен јаглен, зеолит или други адсорбентни материјали специјално дизајнирани да ги заробуваат молекуларните нечистотии.

3. Филтри за гас со висока чистота

*Целта: Да се ​​постигнат стандарди за гас со ултра висока чистота (UHP), што е критично за полупроводничките процеси каде што и најмала нечистотија може да влијае на квалитетот на производот.

*Употреба: Овие филтри се користат во процеси како што се Хемиско таложење на пареа (CVD) и плазма офорт, каде што нечистотиите може да предизвикаат сериозни дефекти.

*Материјали: Изработен од нерѓосувачки челик со специјализирани мембрани за одржување на интегритетот при висок притисок и екстремни услови.

4. Филтри за гас на големо

*Целта: За прочистување на гасовите на влезната точка или пред дистрибуцијата до производните линии.

*Употреба: Позициониран возводно во системот за испорака на гас за да ги филтрира гасовите на големо пред да бидат доставени до поединечни алатки или реактори.

*Материјали: Овие филтри често имаат висок капацитет за ракување со големи количини на гасови.

5. Филтри за гас за точка на употреба (POU).

*Целта: За да се осигура дека гасовите доставени до секоја специфична алатка за обработка се ослободени од какви било загадувачи.

*Употреба: Инсталиран непосредно пред да се внесат гасовите во процесната опрема, како што се комори за офорт или таложење.

*Материјали: Направено од материјали компатибилни со реактивни гасови што се користат во полупроводнички процеси, како синтеруван метал или тефлонски.

6. Вградени филтри за гас

*Целта: Да се ​​обезбеди внатрешна филтрација за гасовите што се движат низ системот за дистрибуција.

*Употреба: Инсталиран во гасоводи на клучни точки, обезбедувајќи постојана филтрација низ системот.

*Материјали: синтеруван нерѓосувачки челик или никел за да се обезбеди хемиска компатибилност со гасовите.

7. Филтри за гас за површинска монтажа

*Целта: Да се ​​монтира директно на компонентите на плинската плоча за да се отстранат честичките и молекуларните загадувачи.

*Употреба: Заеднички во тесни простори, овие филтри обезбедуваат ефикасна филтрација во точка на употреба во критичните апликации.

*Материјали: Не'рѓосувачки челик со висока чистота за издржливост и компатибилност со гасовите за производство на полупроводници.

8. Под-микронски филтри

*Целта: За филтрирање на екстремно мали честички, често мали како подмикронски големини, што сепак може да предизвика значителни дефекти во полупроводничките процеси.

*Употреба: Се користи во процеси кои бараат највисоко ниво на филтрација за одржување на снабдувањето со ултра чист гас, како што е фотолитографијата.

*Материјали: Материјали од синтеруван метал или керамика со висока густина кои можат ефикасно да ги заробат дури и најмалите честички.

9. Филтри со активен јаглен

*Целта: За отстранување на органски загадувачи и испарливи гасови.

*Употреба: Се користи во апликации каде што гасните нечистотии треба да се отстранат за да се спречи контаминација на нафора или нарушувања на реакцијата.

*Материјали: Материјали со активен јаглен дизајнирани да адсорбираат органски молекули.

10.Филтри за гас од синтеруван метал

*Целта: За ефикасно отстранување на честичките и нечистотиите притоа нудејќи структурна цврстина и отпорност на висок притисок.

*Употреба: Широко се користи во повеќе фази од процесот на полупроводници каде што е неопходно робусно филтрирање.

*Материјали: Обично направени од синтеруван нерѓосувачки челик или други метални легури за да издржат сурови средини и хемикалии.

11.Хидрофобни филтри за гас

*Целта: За да се спречи влага или водена пареа да навлезе во протокот на гас, што е критично во одредени процеси кои се чувствителни дури и на минимални количини на влага.

*Употреба: Често се користи во процеси како сушење обланда или плазма офорт.

*Материјали: Хидрофобни мембрани, како тефлонски, за да се осигура дека гасовите остануваат без загадување со влага.

Овие различни типови на филтри за гас се внимателно избрани врз основа на нивните специфични својства, компатибилност на материјали и соодветност за уникатните услови на процесите на производство на полупроводници. Правилната комбинација на филтри е од суштинско значење за одржување на највисоко ниво на чистота на гасот, обезбедување стабилност на процесот и спречување на дефекти во полупроводничките уреди.

Некои ЧПП за полупроводнички филтри за гас

Најчесто поставувани прашања 1:

Што се полупроводнички филтри за гас и зошто се важни?

Филтрите за полупроводнички гасови се критични компоненти во процесот на производство на полупроводници.

Тие се дизајнирани да ги отстранат нечистотиите и загадувачите од процесните гасови, како на пркислород,

азот, водород и разни хемиски гасови.

Овие нечистотии можат значително да влијаат на квалитетот, приносот и сигурноста на полупроводничките уреди.

Со ефикасно филтрирање на струите на гас, полупроводничките филтри за гас помагаат:

1. Одржувајте висока чистота:

Осигурете се дека гасовите што се користат во производниот процес се ослободени од загадувачи кои би можеле да ја нарушат работата на уредот.

2. Спречете оштетување на опремата:

Заштитете ја осетливата полупроводничка опрема од контаминација со честички и хемиско потекло, што може да доведе до скапи прекини и поправки.

3. Подобрете го приносот на производот:

Намалете ги дефектите и дефектите предизвикани од нечистотиите што се пренесуваат со гас, што резултира со повисоки приноси на производството.

4. Подобрете ја доверливоста на уредот:

Минимизирајте ја долгорочната деградација на полупроводничките уреди поради проблеми поврзани со контаминација.

Најчесто поставувани прашања 2:

Кои се најчестите типови на полупроводнички филтри за гас?

Во производството на полупроводници се користат неколку видови филтри за гас, секој дизајниран да се отстранува

специфични видови на загадувачи.

Најчестите типови вклучуваат:

1. Филтри за честички:

Овие филтри ги отстрануваат цврстите честички, како што се прашината, влакната и металните честички, од струите на гасот.

Тие обично се направени од материјали како синтеруван метал, керамика или мембрански филтри.

2. Хемиски филтри:

Овие филтри ги отстрануваат хемиските нечистотии, како што се водена пареа, јаглеводороди и корозивни гасови.

Тие често се засноваат на принципи на адсорпција или апсорпција, користејќи материјали како активен јаглен,

молекуларни сита или хемиски сорбенти.

3. Комбинирани филтри:

Овие филтри ги комбинираат можностите на филтрите за честички и хемиските за да ги отстранат двата вида

загадувачи. Тие често се користат во критични апликации каде што високата чистота е од суштинско значење.

Најчесто поставувани прашања 3:

Како се избираат и дизајнираат полупроводничките филтри за гас?

Изборот и дизајнот на полупроводнички филтри за гас вклучува неколку фактори, вклучувајќи:

* Барања за чистота на гас:

Посакуваното ниво на чистота за специфичниот проток на гас ја одредува ефикасноста и капацитетот на филтрирањето на филтерот.

* Стапка на проток и притисок:

Волуменот на гасот што треба да се филтрира и работниот притисок влијаат на големината, материјалот и конфигурацијата на филтерот.

* Вид и концентрација на загадувач:

Специфичните типови на загадувачи присутни во протокот на гас го диктираат изборот на медиумот за филтрирање и неговата големина на порите.

*Температура и влажност:

Условите за работа може да влијаат на перформансите и животниот век на филтерот.

*Трошоци и одржување:

Почетната цена на филтерот и неговите барања за тековно одржување мора да се земат предвид.

Со внимателно разгледување на овие фактори, инженерите можат да изберат и дизајнираат филтри за гас што ги исполнуваат специфичните

потребите на процес на производство на полупроводници.

Колку често треба да се заменат филтрите за гас во производството на полупроводници?

Фреквенцијата на замена на филтрите за гас во производството на полупроводници зависи од неколку фактори, вклучувајќи го и типот на

процесот, нивото на загадувачи и специфичниот тип на филтер што се користи. Обично, филтрите за гас се заменуваат редовно

распоред за одржување за да се спречи каков било ризик од контаминација,често на секои 6 до 12 месеци, во зависност од условите за користење

и препораките од производителот на филтерот.

Сепак, распоредот за замена може многу да се разликува врз основа на работната средина. На пример:

*Процеси со висока контаминација:

Филтрите можеби ќе треба почесто да се менуваат ако се изложени на високи нивоа на

честички или молекуларна контаминација.

*Критични апликации:

Во процесите кои бараат исклучително висока чистота (на пример, фотолитографија), филтрите често се заменуваат

превентивно да се осигура дека квалитетот на гасот не е загрозен.

Следењето на диференцијалниот притисок низ филтерот е вообичаен метод за одредување кога филтерот треба да се замени.

Како што се акумулираат загадувачите, падот на притисокот низ филтерот се зголемува, што укажува на намалување на ефикасноста.

Од клучно значење е да се заменат филтрите пред да се намали нивната ефикасност, бидејќи секое нарушување на чистотата на гасот може да предизвика значителни дефекти,

намалување на приносот, па дури и да доведе до оштетување на опремата.

Од кои материјали се направени филтрите за гас за полупроводнички апликации?

Филтрите за гас што се користат во полупроводничките апликации се направени од материјали кои можат да одржуваат највисоки стандарди за чистота

и да ги издржат суровите средини кои се наоѓаат во производството. Вообичаените материјали вклучуваат:

*Не'рѓосувачки челик (316L): Најкористен материјал поради неговата хемиска отпорност, механичка сила и

способност да се фабрикува со прецизни големини на порите користејќи технологија на синтерување. Погоден е за филтрирање на двете реактивни

и инертни гасови.

* Тефлонски (политетрафлуороетилен): Тефлонски е хемиски инертен материјал кој се користи за филтрирање на високо реактивен или корозивен

гасови. Има одлична хемиска компатибилност и хидрофобни својства, што го прави идеален за чувствителен на влага

процеси.

* Никел и Хастелој:

Овие материјали се користат за апликации на високи температури или за процеси кои вклучуваат агресивни хемикалии

каде што нерѓосувачкиот челик може да се распадне.

* Керамика:

Керамичките филтри се користат за апликации каде што е потребна екстремна температурна отпорност или за под-микрон

филтрирање на честички.

Изборот на материјал зависи од видот на гасот, присуството на реактивни видови, температурата и

други параметри на процесот. Материјалите мора да бидат нереактивни за да се осигура дека не внесуваат никакви нечистотии

или честички во процесот, со што се одржуваат нивоата на чистота на гас потребни за производство на полупроводници.

Која е улогата на филтрите во точка на употреба (POU) во производството на полупроводници?

Филтрите за точка на употреба (POU) се неопходни во производството на полупроводници, бидејќи обезбедуваат прочистување на гасовите веднаш пред

влегување во процесните алатки. Овие филтри обезбедуваат последна заштита од загадувачи кои можеби навлегле во протокот на гас

за време на складирањето, транспортот или дистрибуцијата, со што се подобрува стабилноста на процесот и квалитетот на производот.

Главните предности на POU филтрите:

*Позициониран блиску до критична опрема (на пр., комори за офорт или таложење) за да се спречи контаминацијата да стигне до нафората.

*Отстранете ги и честичките и молекуларните нечистотии кои би можеле да бидат внесени од системот за ракување со гас или изложеноста на околината.

*Обезбедете највисок можен квалитет на гасот да се доставува до алатот за процесирање, заштитувајќи ја опремата и подобрувајќи го квалитетот на произведените уреди.

*Намалете ја варијабилноста на процесот, зголемете го приносот и намалете ги нивоата на дефекти.

*Незаменлив во напредни полупроводнички средини каде што дури и малите нечистотии можат значително да влијаат на продуктивноста и доверливоста на производот.

Како филтрите за гас го спречуваат прекинот на опремата во полупроводничките процеси?

Филтрите за гас го спречуваат прекинот на опремата во полупроводничките процеси со тоа што обезбедуваат дека процесните гасови се постојано без

загадувачи кои можат да предизвикаат оштетување на опремата за производство. Производството на полупроводници вклучува употреба на високо

чувствителна опрема, вклучувајќи комори за таложење, машини за плазма офорт и системи за фотолитографија.

Ако загадувачите како прашина, влага или реактивни нечистотии навлезат во овие машини, тие можат да предизвикаат низа проблеми,

од затнување на вентилите и млазниците до оштетените површини на нафора или внатрешноста на реакторот.

Со користење на висококвалитетни филтри за гас, производителите го спречуваат внесувањето на овие загадувачи, намалувајќи ја веројатноста за

непланирано одржување и дефекти на опремата. Ова помага во одржување на стабилни распореди на производство, минимизирање

скапи прекини и избегнување на значителни трошоци поврзани со поправки или замени.

Дополнително, добро одржуваните филтри помагаат да се продолжи животниот век на клучните компоненти, како што се контролорите за проток, вентилите и реакторите,

со што се подобрува севкупната ефикасност и профитабилност на производниот процес.

Затоа, проверете неколку детали за полупроводничките филтри за гас, ако сепак имате уште неколку прашања.

Подготвени сте да го оптимизирате вашиот процес на производство на полупроводници со висококвалитетни решенија за филтрирање на гас?

Контактирајте со HENGKO денес за стручни насоки и приспособени решенија за да ги задоволат вашите потреби.

По проверка на некои детали информации за полупроводнички филтер за гас, ако имате повеќе прашања?

Подготвени сте да го оптимизирате вашиот процес на производство на полупроводници со висококвалитетни решенија за филтрирање на гас?

Контактирајте со HENGKO денес за стручни насоки и приспособени решенија за да ги задоволат вашите потреби.

Испратете ни е-пошта наka@hengko.comза повеќе информации.

Нашиот тим е тука да ви помогне да ја подобрите ефикасноста на производството и квалитетот на производот.