Високо-перформансни IGS C-филтри за заптивка за површинска монтажа за полупроводнички системи за испорака на гас
Опис
HENGKO филтрите за површинска монтажа се дизајнирани да ги задоволат барањата на интегрираните гасни системи што се користат во полупроводничките OEM алатки. Нудејќи водечка филтрација во индустријата од 0,003 µm, овие филтри обезбедуваат исклучителни перформанси и сигурност со ефикасност на пресретнување на честички од ≥99,9999999% (9-LRV) при 120 slpm.
Изработени од робустен нерѓосувачки челик 316L синтеруван во прав за елементот и куќиштето на филтерот, овие филтри се во согласност со спецификациите SEMI F86-0304, со компоненти со два отвори прилагодени за системи за дистрибуција на гас од 1,125” со конфигурација C-seal. Тие поддржуваат максимален влезен притисок од 3,4 MPa на 100°C и максимален работен диференцијален притисок од 0,69 MPa на 100°C.
Овие специјализирани филтри, компатибилни со спецификациите за заптивки од типот C и W, постигнуваат чистота низводно со ослободување на честички од
Со површинска завршна обработка од Ra< 1,6 µm на надворешноста и RaСо димензии < 0,13 µm во внатрешноста, тие се дизајнирани да издржат високи температури до 460°C. Дизајнирани за лесна интеграција и надградби на модуларниот дизајн, овие филтри ја поедноставуваат инсталацијата и одржувањето, помагајќи да се оптимизираат перформансите на системот во апликациите за испорака и контрола на полупроводнички гас.
Карактеристика на производот
▶ Целокупна конструкција од не'рѓосувачки челик 316L
▶ Минијатуризиран дизајн, компактна структура, заштеда на простор
▶ Одлични карактеристики на замена на гас и десорпција
▶ Отпорност на висока температура, висок притисок и корозија
▶ Електрополирано куќиште од не'рѓосувачки челик 316L
▶ Лесна и ефикасна инсталација и одржување
▶ Механичко заптивање, структурно незаварено на медиумот
Лист со податоци
| Технички параметри | Вредности |
|---|---|
| Материјал на филтер-елементот | 316L синтеруван прав од не'рѓосувачки челик |
| Материјал за куќиште | 316L не'рѓосувачки челик |
| Максимален влезен притисок | 3,4 MPa на 100°C |
| Максимален работен диференцијал | 0,69 MPa на 100°C |
| Стапка на истекување на верификација на хелиум | 1x10⁻¹¹ кубни сантиметри/мин |
| Стапка на истекување на хелиум од тест | 1x10⁻⁹ кубни сантиметри/мин |
| Површинска обработка | Надворешна површина Ra< 1,6 μm |
| Внатрешна површина Ra< 0,13 μm | |
| Максимална работна температура | 460°C |
| Ефикасност на пресретнување на честички | ≥99,9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (Референца MPPS, сите честички) |
| Чистота низводно | Ослободување на честички:< 0,03 честички/литар (< 1 честичка/ft³) |
| Испарливи материи:< 10 ppb влага | |
| Големина на пресретнување на честички | ≥0,003 μm |
| Опсег на проток | 0 ~ 120 slpm |
Големина
Еве го бројот на делот што можете да го нарачате и деталите за големината:
| Модел на производ | Проток | Висина H (мм) | Прецизност на филтрација | Ниво на чистење |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126,2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Типични апликации
За употреба со W-seal и C-seal, модуларни системи за испорака на гас за површинска монтажа од 1,125” и 1,5”.
Испратете ни ја вашата порака:
